小測量半徑:2µm
小測量楔角:20°
小測量粗糙度(Ra):80nm
小測量粗糙度(Sa):50nm
大掃描高度:25mm
大操作距離:17.5(5×物鏡)
大擴(kuò)展視野范圍:2500mm2
垂直分辨率:20nm
大單一方向測量范圍:50mm
位移范圍(X/Y):50mm×50mm(自動調(diào)節(jié))
位移范圍(Z):130mm(26mm自動調(diào)節(jié))
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